Kontaktna rupa je otvor izolacije između metalnog sloja i aktivnog područja ili polisilicija. To je ključna struktura u mikroelektronici, obično okomito urezana u silikonsku pločicu, koja se koristi za povezivanje prvog metalnog interkonekta i supstrata, a ispunjena je metalima poput volframa. Često se koristi u proizvodnji integriranih krugova za ostvarivanje električnih veza između različitih slojeva kruga.
Budući da kvaliteta kontaktnog otvora izravno utječe na izvedbu i pouzdanost cijelog strujnog kruga, kontaktni otvor mora biti dizajniran i proizveden imajući na umu mnoge čimbenike, kao što su električna izvedba, toplinska stabilnost, mehanička čvrstoća i produktivnost. Kako bi se osigurale dobre električne veze i manji otpor, kontaktne rupe obično se pune metalom ili drugim vodljivim materijalima. Istodobno, kako bi se spriječilo mehaničko oštećenje i kemijska korozija, perimetar kontaktne rupe obično je prekriven zaštitnim slojem.
